按使用磨具的构造及加工方式的不同，超声波抛光可分为以下几种：
（1）使用带磨料的工具进行研磨抛光，如图5-1(a）所示。其中粒状磨料a嵌入磨具表层一定深度。磨具有烧结金刚石、电镀金刚石和刚玉、油石等。
（3）干式研磨抛光，即用带磨料的磨具，或用磨具与游离态磨粒直接进行抛光加工。
超声波抛光的工艺效果曲线图如图5-2所示。不难看出，在抛光初期，随着抛光过程的进行，表面粗糙度迅速下降。但抛光到一定程度（如4min~5min）后，抛光表面的粗糙度就稳定在某一定值或其左右，不再提高了。因此，若要获得更好的表面粗糙度，则必须采用分段抛光法：先用较粗大的磨料进行粗抛光，持续一定时间后，当抛光表面粗糙度不再有明显提高时，及时改用较细小的磨料进行精抛光加工。若更换一次磨料还不能达到工艺要求的粗糙度时，可再次更换更细小一级的磨料，进行多段抛光。图5-3为分段抛光表面粗糙度随抛光时间变化的曲线图。显然，分段抛光时，若能及时更换磨料，就可取得最好的抛光效果（见图5-3的曲线3）。反之，当用第一种磨料抛光到极限光洁度时，还迟迟不更换更细小的磨料，过了一段时间后才更换，那就会像图5-3的曲线2、3所示的那样，大大降低了抛光的效果。
一般说来，使用同一种磨料，超声波抛光加工所能达到的极限粗糙度，不如手工抛光加工的低。因此，欲达到同级粗糙度，用超声波抛光法加工时，就需要选用比手工抛光工艺更细小一级的磨料。